氮化硅陶瓷基片制作一般需要以下步骤：

1. 原材料准备：准备氮化硅粉末、添加剂、助剂以及溶剂等原材料。

2. 粉末混合：将氮化硅粉末、添加剂等原材料混合均匀，以便制成陶瓷绿坯。

3. 绿坯成型：将混合后的原材料进行成型，一般常用的方法包括注射成型、压制成型等方式。

4. 绿坯烘干：将成型后的绿坯进行烘干，去除其中的水分。

5. 烧结：将烘干后的绿坯进行烧结，以使得材料结晶并获得所需要的物理性能。

6. 机械加工：根据需要进行机械加工，如切割、磨削等等。

最终制成的氮化硅陶瓷基片具有较高的耐磨损性、化学稳定性以及机械强度等优良性能，被广泛应用于电子、光电、化工等领域。